PART01

產品介紹

Fresnel-03 激光干涉儀可實現皮米級高速測距。產品配備3個獨立測量通道，可同步測量3個線性運動自由度。我們提供多款尺寸緊湊的光纖探頭選項，以適用於面測量、點測量、線測量及差分式測量。

通過3通道組合測量，用戶可實現多自由度線性及旋轉位移的高精度測量。配合豐富的數據傳輸接口，可將激光干涉儀作為位置傳感器使用，實現精確的位置控制。

為滿足極端環境下的實驗需求，我們還提供可兼容超高真空、極低溫、強磁場環境的專用光纖探頭。

PART02

產品參數

以下為 Fresnel-03 激光干涉儀的主要規格，所有數值均為嚴格表徵測量所得的典型結果。

特別說明：具體性能因應用和配置而異，歡迎聯繫我們獲取詳細指引！

位置測量分辨率

位置測量分辨率指的是可檢測到的最小位移變化。Fresnel-03的高分辨率性能通過壓電掃描臺驗證，該掃描臺執行了包含10個步驟的往復運動序列，以每秒1nm和2nm的步長移動。測量在距反射器150mm處進行，並確保光學傳感器頭精確對準。

動態回應與頻域分析 

Fresnel-03 以 1.144 kSa/s 的速率高速採樣，能夠輕鬆解析 572 Hz 帶寬內的多階振動模態，實現微納級動態位移的精準還原。

激光安全 

Fresnel-03 干涉儀屬於1級激光產品。為確保操作安全，用戶應熟悉儀器及激光輻射特性。

雖然產品設計本身確保了對眼睛的固有安全性，但仍建議用戶避免激光直接照射眼睛和皮膚。未使用時，請務必蓋好光學端口防護帽，防止汙染和潛在損壞。

遵循這些預防措施可確保設備最佳性能，同時最大限度降低潛在風險。

PART03

配套產品

聚焦型探頭:

適用於平面目標或短距離測量，提供更高的角度容忍度，支持較小測量面積，實現精確測量。     

線型探頭:

專用於旋轉圓柱形物體的偏心測量。可在較大角度範圍內工作，對旋轉軸的傾斜或翻轉不敏感，確保測量穩定性。

準直型探頭:

適用於長距離測量或配合後向反射器使用。提供多種外形尺寸和光斑大小，確保精準的光束傳輸與測量。

差分型探頭:

採用開放式參考臂設計，可同步測量兩個目標之間的相對位移。                                       

環境補償單元(ECU):

實時監控環境折射率，對絕對距離測量進行精準修正。